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金刚石沉积技术应用

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金刚石沉积技术应用

概述

　　金刚石是自然界存在的特殊材料组之一，具有最高的硬度、低摩擦系数、高弹性模量、高热导、高绝缘、宽能隙、高的声传播速率以及良好的化学稳定性等，如表所示。金刚石薄膜(或金刚石涂层)将这些优异的物理化学性能集一身，且成本较天然金刚石低，能够制备各种几何形状，理论上对尺寸是没有限制的，在电子、光学、机械等工业领域有广泛的应用前景，并可作为军用项目和军民两用项目的开发。